磁场传感器提供了众多的应用,如不发生任何接触的电流测量、接近传感、指南针的应用和位移测量。
霍尔传感器是一种以响应变化的磁场而输出电压的一种传感器。今天霍尔传感器和读出电子设备可以被集成在同一块使用CMOS工艺的芯片上。从另一方面说,CMOS工艺仍然严重限制了霍尔传感器。时间和温度的灵敏度变化、低灵敏度和高失调电压(这些都是,但不仅限于)会造成比输出电压高几个数量级的电压输出。可供选择测试和表征的霍尔传感器在大批量生产中是非常有限的。最常见的技术是利用外场发电机去描述在一套小生产样品中的霍尔传感器。每产生100mT的磁场,就要求线圈的接触电流为30至60A。在每个程序运行期间电流必须接通和关闭,这有可能会产生巨大的峰值电流,因此会导致长时间的建立时间。在制造业的环境中,减少测试次数并不是一个可行的解决方案。在【4】中,作者提出了解决方案,采用人造励磁线圈直接整合到芯片表面。这一过程在调整磁场和传感器表面垂直的的时候可能会遇到困难。由于这些限制,灵敏度校准大多数是在硅上应用几个旋钮来完成的。然而,早期的筛选没有必要,应用程序的安装和广泛的微调将减少安装费用。
在芯片上直接使用线圈对于上述提到的方法是一种低成本的备选方案。它不需要特殊的测试安装和装配。机械调整的困难可能会被视为线圈和霍尔传感器有可比拟的形式因素和相同的程度。因此,COC就会成为一个潜在的低成本解决方案而又不失去准确性。在【6】文献中,调制技术提出了对涉及到由COC从标准化增益的外磁场产生的的磁场的低幅度求微分。除了所有的优势,COC有一个主要的缺点,那就是高振幅的线圈电流为了达到高的信噪比而自身加热的问题。高振幅的线圈电流加热了线圈,因此霍尔传感器会通过传热加热了衬底。这会影响到精度测试。在本文中,我们提出了解决方案,我们能够在存在自身加热和高度偏移残留的情况下通过ATE精确的校准灵敏度。我们通过在生产环境中测量霍尔传感器来证明了我们的观点。本文安排如下。在第二节中,我们描述了自加热机制。在第三节中,我们描述我们的校准方法。在第四节我们将呈上我们集成COC可靠的特征。在第五节中,我们将说明在生产环境中通过使用ATE来完成对100多个样品的测试安装和装配。在第六节中我们将得出结论。